EUV（極紫外）光源是7nm及以下先進(jìn)制程光刻機(jī)的核心子系統(tǒng)，通過(guò)高功率激光激發(fā)錫等離子體產(chǎn)生13.5nm波長(zhǎng)輻射，技術(shù)門(mén)檻極高。目前，全球僅荷蘭ASML集成的EUV光刻機(jī)搭載由美國(guó)Cymer（現(xiàn)屬ASML）開(kāi)發(fā)的LPP（激光等離子體）光源，其輸出功率、穩(wěn)定性與可用性經(jīng)過(guò)十余年迭代才達(dá)到量產(chǎn)要求。EUV光源涉及超精密光學(xué)、高能激光、真空等離子體物理及實(shí)時(shí)碎片控制等多學(xué)科交叉，關(guān)鍵部件如CO?驅(qū)動(dòng)激光器、收集鏡鍍膜及錫滴發(fā)生器均需極端可靠性。盡管中國(guó)及部分國(guó)家正布局EUV技術(shù)攻關(guān)，但受限于基礎(chǔ)科研積累與高端制造生態(tài)，短期內(nèi)難以形成可商用系統(tǒng)。

　　未來(lái)，EUV光源將朝著更高功率、更高效率與更低成本方向持續(xù)演進(jìn)。為支持High-NA EUV光刻機(jī)及大規(guī)模生產(chǎn)需求，下一代光源需突破千瓦級(jí)平均功率瓶頸，并提升電光轉(zhuǎn)換效率以降低能耗。同時(shí)，新型激發(fā)機(jī)制（如放電等離子體DPP）與替代波長(zhǎng)探索（如6.x nm）雖處于早期階段，但可能為后EUV時(shí)代提供技術(shù)儲(chǔ)備。此外，伴隨地緣政治對(duì)尖端半導(dǎo)體設(shè)備出口管制趨嚴(yán)，多國(guó)正加速構(gòu)建本土EUV研發(fā)體系，推動(dòng)關(guān)鍵子系統(tǒng)（如高重頻激光器、抗污染光學(xué)元件）的自主創(chuàng)新。長(zhǎng)遠(yuǎn)看，EUV光源不僅是光刻設(shè)備的“心臟”，更將成為衡量一國(guó)在尖端制造與前沿物理工程融合能力的重要標(biāo)尺。

　　《2025-2031年中國(guó)EUV光源行業(yè)市場(chǎng)分析與發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》系統(tǒng)分析了EUV光源行業(yè)的市場(chǎng)需求、市場(chǎng)規(guī)模及價(jià)格動(dòng)態(tài)，全面梳理了EUV光源產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)，并對(duì)EUV光源細(xì)分市場(chǎng)進(jìn)行了深入探究。報(bào)告基于詳實(shí)數(shù)據(jù)，科學(xué)預(yù)測(cè)了EUV光源市場(chǎng)前景與發(fā)展趨勢(shì)，重點(diǎn)剖析了品牌競(jìng)爭(zhēng)格局、市場(chǎng)集中度及重點(diǎn)企業(yè)的市場(chǎng)地位。通過(guò)SWOT分析，報(bào)告識(shí)別了行業(yè)面臨的機(jī)遇與風(fēng)險(xiǎn)，并提出了針對(duì)性發(fā)展策略與建議，為EUV光源企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)及政府部門(mén)提供了準(zhǔn)確、及時(shí)的行業(yè)信息，是制定戰(zhàn)略決策的重要參考工具，對(duì)推動(dòng)行業(yè)健康發(fā)展具有重要指導(dǎo)意義。

第一章 EUV光源行業(yè)概述

　　第一節(jié) EUV光源定義和分類

　　　　一、光刻機(jī)

　　　　二、光源系統(tǒng)

　　　　三、EUV光源分類

　　第二節(jié) EUV光源主要商業(yè)模式

　　第三節(jié) EUV光源產(chǎn)業(yè)鏈分析

第二章 2024-2025年中國(guó)EUV光源行業(yè)發(fā)展環(huán)境調(diào)研

　　第一節(jié) EUV光源行業(yè)政策環(huán)境分析

　　　　一、《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》

　　　　二、《電子信息制造業(yè)2025-2026年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案》

　　　　三、光刻機(jī)產(chǎn)品進(jìn)口相關(guān)限制

　　第二節(jié) EUV光源行業(yè)經(jīng)濟(jì)環(huán)境分析

　　　　一、全球經(jīng)濟(jì)形勢(shì)

　　　　二、國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)形勢(shì)

詳:情：http://www.seedlingcenter.com.cn/2/08/EUVGuangYuanHangYeQianJingFenXi.html

　　　　三、當(dāng)前經(jīng)濟(jì)主要問(wèn)題

　　　　四、未來(lái)經(jīng)濟(jì)運(yùn)行與政策展望

　　第三節(jié) EUV光源行業(yè)社會(huì)環(huán)境分析

　　　　一、人口規(guī)模分析

　　　　二、居民收入水平

　　　　三、居民消費(fèi)水平

　　　　四、社會(huì)消費(fèi)規(guī)模

　　第四節(jié) EUV光源行業(yè)技術(shù)環(huán)境分析

第三章 2024-2025年全球EUV光源行業(yè)供需情況分析、預(yù)測(cè)

　　第一節(jié) 全球EUV光源市場(chǎng)發(fā)展分析

　　　　一、光刻機(jī)出貨量

　　　　二、光刻機(jī)銷售額

　　　　三、EUV光刻機(jī)出貨量

　　　　四、EUV光刻機(jī)銷售額

　　　　五、EUV光源銷售額

　　第二節(jié) 全球主要國(guó)家、地區(qū)EUV光源市場(chǎng)調(diào)研

　　第三節(jié) 全球EUV光源行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)分析

第四章 中國(guó)EUV光源行業(yè)供需情況分析、預(yù)測(cè)

　　第一節(jié) EUV光源行業(yè)供給分析

　　　　一、EUV光源行業(yè)供給分析

　　　　二、EUV光源行業(yè)區(qū)域供給分析

　　　　三、EUV光源行業(yè)供給預(yù)測(cè)分析

　　第二節(jié) 中國(guó)EUV光源行業(yè)需求情況

　　　　一、EUV光源行業(yè)需求分析

　　　　二、EUV光源行業(yè)需求預(yù)測(cè)分析

第五章 中國(guó)EUV光源行業(yè)進(jìn)出口情況分析、預(yù)測(cè)

　　第一節(jié) 2020-2025年中國(guó)EUV光源行業(yè)進(jìn)出口情況分析

　　第二節(jié) 2025-2031年中國(guó)EUV光源行業(yè)進(jìn)出口情況預(yù)測(cè)分析

　　　　一、EUV光源行業(yè)進(jìn)口預(yù)測(cè)分析

　　　　二、EUV光源行業(yè)出口預(yù)測(cè)分析

　　第三節(jié) 影響EUV光源行業(yè)進(jìn)出口變化的主要因素

第六章 中國(guó)EUV光源行業(yè)總體發(fā)展情況分析

　　第一節(jié) 中國(guó)EUV光源行業(yè)規(guī)模情況分析

　　　　一、EUV光源行業(yè)單位規(guī)模情況分析

　　　　二、EUV光源行業(yè)人員規(guī)模狀況分析

　　　　三、EUV光源行業(yè)資產(chǎn)規(guī)模狀況分析

2025-2031 China EUV Light Source industry market analysis and development prospects forecast report

　　　　四、EUV光源行業(yè)敏感性分析

　　第二節(jié) 中國(guó)EUV光源所屬行業(yè)財(cái)務(wù)能力分析

　　　　一、EUV光源行業(yè)盈利能力分析

　　　　二、EUV光源行業(yè)償債能力分析

　　　　三、EUV光源行業(yè)營(yíng)運(yùn)能力分析

　　　　四、EUV光源行業(yè)發(fā)展能力分析

第七章 中國(guó)EUV光源行業(yè)重點(diǎn)區(qū)域發(fā)展分析

　　第一節(jié) 重點(diǎn)地區(qū)集成電路行業(yè)發(fā)展分析

　　第二節(jié) 重點(diǎn)地區(qū)EUV光源行業(yè)潛在需求

第八章 EUV光源行業(yè)細(xì)分產(chǎn)品市場(chǎng)調(diào)研

　　第一節(jié) 放電等離子體光源（DPP）市場(chǎng)調(diào)研

　　　　一、放電等離子體光源（DPP）發(fā)展分析

　　　　二、放電等離子體光源（DPP）發(fā)展趨勢(shì)

　　第二節(jié) 激光等離子體光源（LPP）市場(chǎng)調(diào)研

　　　　一、激光等離子體光源（LPP）發(fā)展分析

　　　　二、激光等離子體光源（LPP）發(fā)展趨勢(shì)

第九章 EUV光源行業(yè)上、下游市場(chǎng)調(diào)研分析

　　第一節(jié) EUV光源行業(yè)上游調(diào)研

　　　　一、行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

　　　　二、行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)分析

　　第二節(jié) EUV光源行業(yè)下游調(diào)研

第十章 中國(guó)EUV光源行業(yè)產(chǎn)品價(jià)格監(jiān)測(cè)

　　　　一、EUV光源市場(chǎng)價(jià)格特征

　　　　二、影響EUV光源市場(chǎng)價(jià)格因素分析

　　　　三、未來(lái)EUV光源市場(chǎng)價(jià)格走勢(shì)預(yù)測(cè)分析

第十一章 EUV光源行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)發(fā)展情況分析

　　第一節(jié) Cymer公司

　　　　一、企業(yè)基本概況

　　　　二、企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)分析

　　　　三、企業(yè)經(jīng)營(yíng)狀況分析

　　　　四、企業(yè)未來(lái)發(fā)展戰(zhàn)略

　　第二節(jié) 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所

　　　　一、基本概況

　　　　二、競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)分析

　　　　三、經(jīng)營(yíng)狀況分析

　　　　四、企業(yè)未來(lái)發(fā)展戰(zhàn)略

2025-2031年中國(guó)EUV光源行業(yè)市場(chǎng)分析與發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告

　　第三節(jié) 合肥皓宇芯光科技有限公司

　　　　一、企業(yè)基本概況

　　　　二、企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)分析

　　　　三、企業(yè)經(jīng)營(yíng)狀況分析

　　　　四、企業(yè)未來(lái)發(fā)展戰(zhàn)略

　　第四節(jié) 其他公司介紹

　　　　一、Gigaphoton

　　　　二、北京科益虹源光電技術(shù)有限公司

　　　　三、福建福晶科技股份有限公司

　　　　四、南京波長(zhǎng)光電科技股份有限公司

　　　　五、西安炬光科技股份有限公司

　　　　六、朗道燧巖（上海）科技有限公司

第十二章 中國(guó)EUV光源行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局及策略

　　第一節(jié) EUV光源行業(yè)總體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)情況分析

　　　　一、EUV光源行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)結(jié)構(gòu)分析

　　　　二、EUV光源企業(yè)間競(jìng)爭(zhēng)格局分析

　　　　三、EUV光源行業(yè)SWOT分析

　　第二節(jié) 中國(guó)EUV光源行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局綜述

　　　　一、中國(guó)EUV光源行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力分析

　　　　二、EUV光源市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)策略分析

第十三章 EUV光源行業(yè)進(jìn)入壁壘及風(fēng)險(xiǎn)控制策略

　　第一節(jié) EUV光源行業(yè)進(jìn)入壁壘分析

　　　　一、技術(shù)壁壘

　　　　二、資金壁壘

　　　　三、供應(yīng)鏈壁壘

　　　　四、市場(chǎng)與客戶壁壘

　　　　五、人才壁壘

　　第二節(jié) EUV光源行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)及控制策略

　　　　一、技術(shù)研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)

　　　　二、產(chǎn)能落地風(fēng)險(xiǎn)

　　　　三、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)風(fēng)險(xiǎn)

　　　　四、政策與地緣風(fēng)險(xiǎn)

　　　　五、資金與人才風(fēng)險(xiǎn)

第十四章 研究結(jié)論及投資建議

　　第一節(jié) EUV光源市場(chǎng)前景預(yù)測(cè)分析

　　第二節(jié) EUV光源行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)分析

2025-2031 nián zhōngguó EUV guāngyuán hángyè shìchǎng fēnxī yǔ fāzhǎn qiántú yùcè bàogào

　　第三節(jié) EUV光源行業(yè)研究結(jié)論

　　第四節(jié) EUV光源行業(yè)投資價(jià)值評(píng)估

　　第五節(jié) 中~智~林~　EUV光源行業(yè)投資建議

　　　　一、EUV光源行業(yè)發(fā)展策略建議

　　　　二、EUV光源行業(yè)投資方向建議

　　　　三、EUV光源行業(yè)投資方式建議

圖表目錄

　　圖表 1：光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)

　　圖表 2：高壓汞燈的光譜分布

　　圖表 3：高壓汞燈的結(jié)構(gòu)

　　圖表 4：?jiǎn)吻籇UV激光產(chǎn)生的原理

　　圖表 5：ArF光源系統(tǒng)（DUV）

　　圖表 6：GIGAPHOTON的ArF光源內(nèi)部結(jié)構(gòu)

　　圖表 7：光源內(nèi)置的測(cè)量模塊

　　圖表 8：EUV設(shè)備龐大的前驅(qū)激光裝置

　　圖表 9：光刻機(jī)中的EUV光產(chǎn)生裝置

　　圖表 10：EUV光源工作原理圖

　　圖表 11：放電等離子體光源（左）和激光等離子體光源（右）示意圖

　　圖表 12：荷蘭ASMI光刻機(jī)產(chǎn)品銷往中國(guó)大陸的限制情況

　　圖表 13：中國(guó)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)總值增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 14：中國(guó)進(jìn)出口金額增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 15：中國(guó)固定資產(chǎn)投資（不含農(nóng)戶）增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 16：2019-2023年中國(guó)人口及結(jié)構(gòu)情況 單位：萬(wàn)人

　　圖表 17：全國(guó)居民可支配收入情況 單位：元

　　圖表 18：全國(guó)居民人均消費(fèi)支出情況 單位：元

　　圖表 19：全國(guó)社會(huì)消費(fèi)品零售總額情況 單位：元

　　圖表 20：EUV光源性能優(yōu)化

　　圖表 21：全球光刻機(jī)出貨量增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 22：全球光刻機(jī)銷售金額增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 23：全球EUV光刻機(jī)出貨量增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 24：全球EUV光刻機(jī)銷售金額增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 25：全球EUV光源銷售金額增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 26：中國(guó)EUV光源所屬行業(yè)盈利能力增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 27：中國(guó)EUV光源所屬行業(yè)償債能力增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 28：中國(guó)EUV光源所屬行業(yè)營(yíng)運(yùn)能力增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 29：中國(guó)EUV光源所屬行業(yè)發(fā)展能力增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

2025-2031年中國(guó)のEUV光源業(yè)界市場(chǎng)分析と発展見(jiàn)通し予測(cè)レポート

　　圖表 30：中國(guó)集成電路行業(yè)產(chǎn)量增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 31：中國(guó)各省市集成電路行業(yè)產(chǎn)量增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)

　　圖表 32：Cymer公司產(chǎn)品

　　圖表 33：上海光機(jī)所固體激光器與ASML二氧化碳激光器具體技術(shù)參數(shù)差異

　　圖表 34：合肥皓宇芯光科技有限公司基本信息

　　圖表 35：北京科益虹源光電技術(shù)有限公司基本信息

　　圖表 36：福建福晶科技股份有限公司基本信息

　　圖表 37：2024年1-12月份福建福晶科技股份有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)構(gòu)成分析

　　圖表 38：2025年1-6月份福建福晶科技股份有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)構(gòu)成分析

　　圖表 39：南京波長(zhǎng)光電科技股份有限公司基本信息

　　圖表 40：2024年1-12月份南京波長(zhǎng)光電科技股份有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)構(gòu)成分析

　　圖表 41：2025年1-6月份南京波長(zhǎng)光電科技股份有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)構(gòu)成分析

　　圖表 42：西安炬光科技股份有限公司基本信息

　　圖表 43：2024年1-12月份西安炬光科技股份有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)構(gòu)成分析

　　圖表 44：2025年1-6月份西安炬光科技股份有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)構(gòu)成分析

　　圖表 45：朗道燧巖（上海）科技有限公司基本信息

　　圖表 46：朗道燧巖低功率EUV光源系統(tǒng)

　　圖表 47：朗道FlintNano LPP-OXXO技術(shù)參數(shù)

　　http://www.seedlingcenter.com.cn/2/08/EUVGuangYuanHangYeQianJingFenXi.html

　　產(chǎn)業(yè)調(diào)研網(wǎng)

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